Équipement de meulage en carbure de silicium : le pilier de la fabrication de précision

Dans le domaine de la fabrication moderne de haute technologie, le carbure de silicium (SiC), en tant que composé inorganique important, a attiré beaucoup d'attention en raison de ses propriétés physiques et chimiques uniques. Le SiC présente les caractéristiques d'une dureté élevée, d'une résistance à l'usure, d'une résistance aux températures élevées, d'une haute fréquence, d'une haute pression et d'une faible consommation d'énergie, et est largement utilisé dans de nombreux domaines tels que la microélectronique, l'aérospatiale, les équipements médicaux et les LED haute puissance. Cependant, pour exploiter pleinement le potentiel des matériaux SiC, des matériaux de haute précision et à haut rendement Équipement de meulage de carbure de silicium est indispensable.

Le principe de fonctionnement de l'équipement de meulage SiC comprend principalement des étapes telles que le chargement des plaquettes, le meulage, le polissage, le nettoyage et le séchage, ainsi que la transmission des plaquettes. La tranche de SiC à traiter est chargée sur le dispositif de serrage de l'équipement pour garantir que la tranche maintient une position et une posture stables pendant le traitement. En faisant tourner le disque ou la tête de meulage, la feuille de meulage ou le liquide de meulage est mis en contact avec la surface de la plaquette, et le frottement mécanique et la corrosion chimique des particules abrasives sont utilisés pour éliminer les parties irrégulières et la couche d'oxyde à la surface de la plaquette.

Sur la base du meulage, la surface de la tranche est davantage polie pour éliminer les rayures et les minuscules piqûres générées pendant le processus de meulage, rendant la surface de la tranche plus lisse et plus plate. Une fois le processus de polissage terminé, la surface de la tranche est nettoyée et séchée à l'aide d'une unité de nettoyage pour éliminer les résidus de fluide de meulage et les contaminants particulaires afin de garantir la propreté de la surface de la tranche.

Les caractéristiques techniques des équipements de broyage SiC se reflètent principalement dans un traitement de haute précision, une production à haut rendement, ainsi que dans la protection de l'environnement et les économies d'énergie. Avec la réduction continue des nœuds de processus de circuits intégrés, les exigences en matière de qualité de surface des plaquettes deviennent également de plus en plus élevées, ce qui nécessite que les équipements de meulage SiC aient une précision et une stabilité de traitement plus élevées. Afin d'améliorer l'efficacité de la production et de réduire les coûts de production, les équipements de broyage SiC doivent atteindre des vitesses de traitement plus efficaces et des lots de production plus importants. Avec l'amélioration de la conscience environnementale et la tension des ressources énergétiques, les équipements de broyage SiC doivent accorder plus d'attention à la protection de l'environnement et à la conception économe en énergie afin de réduire la production de déchets et la consommation d'énergie.

Les équipements de broyage SiC ont une large gamme d'applications dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les domaines de haute technologie tels que la fabrication de puces, de composants optiques et de puces LED. Il joue un rôle essentiel. La bande interdite haute transparence et les propriétés physiques du SiC en font un matériau idéal pour la fabrication de LED haute puissance, de diodes laser, de photodétecteurs, de cellules solaires et d'enregistreurs UV.

Avec la pénétration rapide des matériaux SiC dans les véhicules électriques, les applications industrielles et les communications 5G, la taille du marché des dispositifs électriques SiC devrait croître considérablement. Selon Yole, une société de recherche et de conseil en semi-conducteurs, d'ici 2028, la taille du marché des dispositifs de puissance SiC atteindra près de 9 milliards de dollars, dont les applications automobiles et industrielles seront les principales structures d'applications en aval, représentant respectivement 74 % et 14 %. Cette tendance entraînera la croissance continue de la demande d’équipements de broyage SiC.